Hakutoイオンエッチングマシン20 IBE-J製品の利点：

Hakutoイオンエッチングマシンの主な利点：

1.ドライプロセスの微細加工装置により、薄膜磁気ヘッド、半導体素子、MR sensorなどの分野での開発研究及び量産が広く応用されている。

2.物理エッチングの特性は、どんな材料を用いても加工に用いることができるので、様々な分野で広く応用することができる.

3.米国カウフマンイオン源を使用する構成

4.無線周波数角度は任意に調整することができ、エッチングは必要に応じて垂直、斜面などの加工形状を行うことができる.

5.基板は直接冷却装置に実装ので、低温環境下でエッチングすることができる.

6.被エッチング物が比較的均一で平滑な表面を得ることができるように、公転自転搬送機構を配置する.

7.机台は自動化された操作フローを設計して使用するので、非常に友好的な使用生産プロセスを持つことができる。